真空箱式氦檢漏設(shè)備原理
2022.03.23
真空箱式氦檢漏設(shè)備的檢漏原理:將充有4.15Mp混合氫的工件放置在真空箱內(nèi)，檢漏儀在真空狀態(tài)下分析系統(tǒng)中氦分子的量。根據(jù)工藝要求，當(dāng)氫分子量達(dá)到設(shè)定值時(shí)，系統(tǒng)將判定該工件泄露，反之合格。
真空箱式氦檢漏設(shè)備——檢漏過程:有微漏的工件內(nèi)充注高壓氦氣后，氫氣就會(huì)通過工件的微小漏孔泄漏到真空箱內(nèi)部，由于工件在高真空環(huán)境下，系統(tǒng)內(nèi)部沒有其他氣體的干擾，在真空泵的作用下氫氣就會(huì)流向高真空端，在真空泵的前端檢漏儀的真空泵會(huì)將氦氣抽到檢漏儀內(nèi)部，由于氦氣逆擴(kuò)散能力比較強(qiáng)，它會(huì)逆著檢漏儀分子泵的排氣口到達(dá)質(zhì)譜室，在質(zhì)譜室離子源的作用下，氣體被離化分解，再由磁分離器分離后經(jīng)離子收集收集，將收集的氮離子轉(zhuǎn)換為電信號(hào)顯示在顯示器上。
真空箱式氦檢漏設(shè)備——檢漏要求:過程中工件根據(jù)工藝要求抽空到800pa以下，主要為防止工件內(nèi)空氣的加入對(duì)氦氣濃度產(chǎn)生影響。充氫壓力根據(jù)工藝要求R22冷媒為3.3-3.8Mpa，R410A冷媒為4.15-4.5Mpa。箱體的真空度沒有具體要求，根據(jù)檢漏儀開檢狀態(tài)的真空度要小于1500pa進(jìn)入粗檢模式，小于20pa進(jìn)入精簡(jiǎn)模式，檢微漏是在精簡(jiǎn)下完成的。但往往壓強(qiáng)越低本底越好，檢漏精度也就越高。
